半導體行業中氬氣的核心作用與安全挑戰

氬氣作為半導體制造的特種氣體，憑借其化學惰性和低電離能特性，在多個關鍵工藝環節發揮不可替代的作用：

1. 保護氣與環境控制

在光刻、封裝等精密工藝中，氬氣作為保護氣可隔絕空氣中的氧氣和水分，防止硅晶圓表面氧化或污染。例如，在晶圓切割和鍵合過程中，高純度氬氣氛圍能將氧化率降低至0.1%以下，直接影響芯片良率。

2. 等離子體工藝核心介質

• 離子注入：作為載體氣體與等離子體源，氬氣幫助摻雜劑離子（如硼、磷）精確注入硅片，控制晶體管導電性。其濃度穩定性直接影響離子注入深度偏差（要求≤±0.5%）。

• 濺射沉積：在金屬布線工藝中，氬等離子體轟擊靶材（如銅、鋁），使金屬原子沉積形成薄膜，氬氣純度需達到99.999%以上，否則會導致薄膜電阻率上升30%以上。

3. 真空系統維護

在光刻膠剝離、氣相沉積等真空腔體中，氬氣用于維持特定壓力環境（通常1-10Pa），并作為吹掃氣體清除殘留反應物，其流量波動需控制在±2%以內。

安全挑戰：氬氣無色無味且比空氣重（密度1.78kg/m3），泄漏后易在設備底部積聚，導致局部缺氧（氧含量＜19.5%），引發人員窒息風險；同時，工藝中氬氣濃度異?？赡軐е卤∧こ练e速率波動，造成批次性產品缺陷。

• 1測量范圍：0-100% Vol（泄漏與高濃度純度監測），滿足從管道泄漏檢測到工藝氣體純度分析的全場景需求。

• 響應速度：T90≤20秒，采用進口長壽命傳感器配合深國安溫濕度補償算法，

2. 適應半導體復雜工況

• 采樣方式：內置進口真空泵（流量500ml/min），支持1米伸縮采樣桿，可深入反應腔體內或設備底部等狹小空間檢測。

• 抗干擾設計：IP67防護等級（便攜式）、Exd II CT6防爆認證（固定式），納米涂層氣室有效抵御光刻膠蒸汽、腐蝕性氣體侵蝕。

• 多參數集成：可同時檢測氬氣濃度、溫濕度、PM2.5等10項指標，支持VOCs、氧氣等氣體擴展，滿足工藝關聯性分析。

• 數據追溯：10萬條數據存儲（支持USB/無線導出），配合上位機軟件可生成濃度趨勢曲線，助力工藝優化（如濺射速率與氬氣濃度關聯性分析）。